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裝片量與產(chǎn)能

416 片/批（156x156mm 方片）,，單臺(tái)5管產(chǎn)能≥3600片/小時(shí),；

在線時(shí)間

≥98%；

設(shè)備功率

峰值功率≤280KW,，平均功率≤70KW,；

設(shè)備尺寸

7400mm（不含真空泵）×2110mm×3530mm（L×W×H）；

成膜質(zhì)量參數(shù)

成膜均勻性

片內(nèi)≤4％,、片間≤3％,、批間≤3％（膜厚80～120nm）；

折射率均勻性

片內(nèi)≤1.5％,、片間≤1.5％,、批間≤1.5％（折射率2～2.2）；

溫控系統(tǒng)參數(shù)

恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度

≤±1℃/1600mm （450℃時(shí)）,；

溫度控制范圍

200～580℃,；

溫度控制方式

五段雙回路溫度控制；

真空系統(tǒng)參數(shù)

壓力控制

高精度VAT閥控制,，控壓范圍220±40Pa,；

石墨舟傳輸系統(tǒng)參數(shù)

石墨舟上料方式

全自動(dòng)機(jī)械手上下舟，在線式/離線式對(duì)接插片機(jī)可選,；

控制系統(tǒng)參數(shù)

推舟機(jī)構(gòu)

水平速度1~12000mm/min可調(diào),，垂直速度1~150mm/min可調(diào)，承重≥40KG,；

控制方式

高性能工控計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制工藝過(guò)程,，并對(duì)工藝參數(shù)和工藝流程實(shí)時(shí)監(jiān)控；

基本參數(shù)

在線時(shí)間

≥98%,；

設(shè)備功率

峰值功率≤280KW,，平均功率≤70KW,；

設(shè)備尺寸

7400mm（不含真空泵）×2110mm×3530mm（L×W×H）；