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12寸邊緣刻蝕機

1）： 適用于6-12”硅片的去邊處理,； 

2）： 去邊規(guī)格0.4-1.5mm,去邊精度±0.1mm,，特殊規(guī)格支持定制； 

3）： 設備包含F(xiàn)OUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR機械手,機械模組,，Buffer位,，刻蝕槽，水洗槽,，甩干位,，儲酸槽； 

4）： FOUP LoadPort各部分均可以獨立操作,； 

5）： 具有兩套硅片上料線,，上料WTR將硅片搬運至Pre-Aligner中定心并尋參； 

6）： 用真空吸盤吸附的方式進行硅片的搬運,； 

7）： 下料WTR取走放入到下載FOUP指定Slot中,； 

8）： 采用國際知名的電氣元件。