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全自動膠帶研磨清洗機
1）： 采用典型,、普遍的濕法清洗方法,，使硅片清洗的更徹底,；
2）： 采用獨立工位伺服機械手、運行過程可監(jiān)控,；
3）： 采用先進的酸液控溫技術,、能有效控制工藝溫度,；
4）： 全自動控制,，可選擇自動配/補液，保證設備的安全穩(wěn)定性,；
5）： 設備由PLC控制,各部分均可以獨立操作
6）： 采用國際知名電氣元件,；
7）： 可滿足客戶多種工藝及產能的定制化需求,。
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