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 1）： 適用于6-12英寸的硅片腐蝕清洗功能

 2）： 12”無盒式（No Cassette）晶圓批次處理可供選擇,；

 3）： 軟件客制化、模塊化設(shè)計,，工序可靈活編輯,、組合選配；

 4）： 全程自動化控制,，無人工干預,，保證產(chǎn)品性能的一致性；

 5）： 根據(jù)工藝需求,，槽體可匹配超聲,、抖動、旋轉(zhuǎn),、循環(huán)和過濾等功能,；

 6）： 配備高速移載機械手，伺服驅(qū)動控制,，保證運行平穩(wěn),，定位可靠；

 7）： 可根據(jù)工藝需求,，匹配超（兆）聲,、抖動、旋轉(zhuǎn),、溢流循環(huán)噴淋等多種功能,；

 8）： 機臺可采用晶圓承載、翻轉(zhuǎn)機構(gòu),，晶圓移載機器人,，F(xiàn)OUP LoadPort配合下料；

 9）： 配備溫水慢提拉+IR干燥組合方式,，確保晶圓干燥完全,；