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1）： 適用于對(duì)硅片,、藍(lán)寶石片,、氮化鎵、砷化鎵,、碳化硅片等半導(dǎo)體晶圓的全自動(dòng)離心脫水,、氮?dú)獯祾吆娓傻龋?nbsp;

2）： 適用于2-12”晶圓的脫水甩干； 

3）： 配備電導(dǎo)率測(cè)試儀,，可選清洗終點(diǎn)判定依據(jù),； 

4）： 配備旋轉(zhuǎn)支架：工作轉(zhuǎn)速 ：400-2200rpm；轉(zhuǎn)速誤差<5%,；平衡等級(jí)：G40,；采用光盤自動(dòng)定位，定位可靠,； 

5）： 觸摸屏+PLC控制方式,； 

6）： 配備靜電消除裝置：將帶電離子吹向甩干桶內(nèi)以中和桶內(nèi)靜電離子。