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1）： 適用于對硅片,、藍寶石片、氮化鎵,、砷化鎵,、碳化硅片等半導體晶圓的全自動離心脫水、氮氣吹掃烘干等,；
2）： 適用于2-12”晶圓的脫水甩干,；
3）： 配備電導率測試儀，可選清洗終點判定依據(jù),；
4）： 配備旋轉支架：工作轉速 ：400-2200rpm,；轉速誤差<5%；平衡等級：G40,；采用光盤自動定位,，定位可靠；
5）： 觸摸屏+PLC控制方式,；
6）： 配備靜電消除裝置：將帶電離子吹向甩干桶內(nèi)以中和桶內(nèi)靜電離子,。
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