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SIC全自動預(yù)清洗機

1）： 適用SIC襯底片的預(yù)清洗,，可兼容4寸、6寸,、8寸規(guī)格 

2）： 全自動控制,，高速機械手，保證設(shè)備運行平穩(wěn),，定位可靠 

3）： 設(shè)備外觀大氣,、結(jié)構(gòu)緊湊 

4）： 外形采用特殊設(shè)計，提高設(shè)備防腐性能,，延長設(shè)備使用壽命,； 

5）： 人性化的操作界面，配合PLC控制操作,，使用起來更為簡便,。 

6）： 采用10.4′觸摸屏操作界面，PLC控制,。自動配補液,，保證了操作的安全穩(wěn)定性； 

7）： 可滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化需求,。