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全自動RCA清洗機(jī)
1）： 采用典型、普遍的濕法清洗方法,，使硅片清洗的更徹底,；
2）： 適用于6-12”晶圓的刻蝕清洗；
3）： 適用于半導(dǎo)體,、第三代半導(dǎo)體（碳化硅）等領(lǐng)域,；
4）： 全自動控制，可選擇自動配/補(bǔ)液,，保證設(shè)備的安全穩(wěn)定性；
5）： 高速移載機(jī)械手,，伺服驅(qū)動控制,，保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)，定位可靠,；
6）： 在線式甩干,，保證清洗的潔凈度,；
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