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Wafer XRD用于全自動晶圓揀選,、生產(chǎn)和質(zhì)量控制
特點
適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸
FOUP,、載具或單個晶圓臺
跨槽晶圓識別為可選功能
易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中
測量速度：每個樣品＜10秒
典型標準偏差（傾斜度）：例如Si 100＜0.003°
MES和SECS/GEM接口
銅靶微焦點風(fēng)冷X射線光管（**30W）或細焦點水冷X射線光管（**1.5kW）
完全符合CE標準的安全控制裝置
通過3色燈塔指示狀
材料
Si,、SiC,、GaAs,、GaN、藍寶石（Al?O?）,、Ge,、AIN、石英,、InP和100s等,。
可選插件
電阻率測量范圍：0.01至0.020Ωcm
自動識別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼,、條形碼或類似代碼
未拋光晶圓和鏡面的距離測量
年產(chǎn)1,000,000片晶圓
暫無數(shù)據(jù),！
隨著動力電池和新能源汽車的需求爆發(fā)，鋰電正極材料也正在快速迭代,，其中三元材料逐漸成為動力電池的主流選擇,。目前三元材料中的鎳鈷錳成分分析多采用ICP分析方法，化學(xué)分析過程相對復(fù)雜,、分析時間長,、梯度稀釋誤
2021-08-06
XRF在鋰電正極材料元素分析中的應(yīng)用 水泥和似水泥物（混合材）體系水化過程的X射線衍射分析 馬爾文帕納科綜合樣本手冊 
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在科研與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的過程中,，作為核心生產(chǎn)研發(fā)設(shè)備的精密儀器，其先進性及性能穩(wěn)定性
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本文摘要電極材料涂布的過程中，漿料的粘度和分散性非常重要,，這些指標會直接影響涂層厚度,、均勻性、涂層密度,，進而影響生產(chǎn)效率和電池性能,。形狀不規(guī)則的顆粒會造成堆積密度低，增加電極漿料的粘度,，所以在電池材料
Wafer XRD的工作原理介紹,？Wafer XRD的使用方法？Wafer XRD多少錢一臺,？Wafer XRD使用的注意事項Wafer XRD的說明書有嗎,？Wafer XRD的操作規(guī)程有嗎？Wafer XRD的報價含票含運費嗎,？Wafer XRD有現(xiàn)貨嗎,？Wafer XRD包安裝嗎？
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