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應(yīng)用：

◆ASML,、Nikon,、Canon光刻機(jī)等。

技術(shù)參數(shù)：

日本Gigaphoton公司是全球頂尖的深紫外光刻機(jī)（DUV Scanner）的光源供應(yīng)商,，其研發(fā)并生產(chǎn)的KrF（248nm）準(zhǔn)分子激光與ArF（193nm）準(zhǔn)分子激光代表了當(dāng)今半導(dǎo)體業(yè)界的*前沿技術(shù),。

主要特點：

◆波長控制技術(shù)：通過使用Piezo控制技術(shù)使得波長控制響應(yīng)時間大為縮短,；

◆腔體壽命延長：通過改進(jìn)腔體電極的材料,，使得腔體壽命進(jìn)一步延長；

◆KrF：技術(shù)成熟,，穩(wěn)定性高（Uptime 達(dá)99.9%）,，耗材壽命長,，現(xiàn)已成為各大半導(dǎo)體廠商標(biāo)準(zhǔn)配置；

◆ArF：設(shè)計先進(jìn),，穩(wěn)定性高,，CoC（運(yùn)行成本）與CoD（停機(jī)維護(hù)成本）都達(dá)到了業(yè)界**水平；

◆ArF Immersion：ArF 浸潤式是目前可量產(chǎn)的光刻技術(shù)極限,。Gigaphoton 是一個被半導(dǎo)體廠商和光刻機(jī)廠商認(rèn)可的光源供應(yīng)商,，也是*早進(jìn)入量產(chǎn)階段的廠商。其設(shè)計先進(jìn),，具有波長和帶寬穩(wěn)定控制技術(shù),、耗材復(fù)用及長壽命技術(shù)、化學(xué)氣體長周期使用等一系列提高性能與穩(wěn)定性并降低運(yùn)行成本的核心技術(shù),。ArF Immersion機(jī)臺率先使用了帶寬控制(BCM)技術(shù),，能夠穩(wěn)定的控制E95，減少CD Error的出現(xiàn),。