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Paramount® 射頻功率輸送系統(tǒng) |
這款半機架,、3kW 的 Paramount® 射頻 (RF) 功率輸送系統(tǒng)擁有一個更強的功率和阻抗測量系統(tǒng),能夠在 13.56MHz 固定或可變頻率,、50歐姆和非50歐姆負載下(電壓駐波比 (VSWR) 超過3:1),,為您帶來傑出的輸送功率精度和控制性能。能夠與*突然變化的電漿阻抗保持即時同步,,Paramount 射頻功率輸送系統(tǒng)能為新一代技術節(jié)點帶來更快的轉(zhuǎn)換速度、更少的製程步驟以及更短的製程時間,。其阻抗測量精度可媲美網(wǎng)路分析儀,,而可選頻率的調(diào)諧幾乎可以瞬間實現(xiàn)(達到毫秒數(shù)量級),速度較市場上的任何其他產(chǎn)品都快,。從而實現(xiàn)真正**的精確性,、可重複性和製程的控制。 |
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