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Zeta-20臺式光學輪廓儀是非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng),。 該系統(tǒng)采用ZDot™**技術和Multi-Mode (多模式)光學系統(tǒng),，可以對各種不同的樣品進行測量：透明和不透明、由低至高的反射率,、由光滑至粗糙的紋理,，以及納米至毫米級別的臺階高度。
Zeta-20的配置靈活并易于使用,，并集合了六種不同的光學量測技術,。ZDot™測量模式可同時采集高分辨率3D數(shù)據和True Color（真彩）無限遠焦點圖像。其他3D測量技術包括白光干涉測量,、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量,。 ZDot或集成寬帶反射儀都可以對薄膜厚度進行測量,。 Zeta-20也是一種高端顯微鏡,，可用于樣品復檢或自動缺陷檢測,。 Zeta-20通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能,，適用于研發(fā)及生產環(huán)境,。
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