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KLA納米壓痕儀iNano
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iNano®納米壓痕儀可輕松測(cè)量薄膜,、涂層和少量材料。 該儀器準(zhǔn)確,、靈活,,并且用戶友好,可以提供壓痕,、硬度,、劃痕和通用納米級(jí)測(cè)試等多種納米級(jí)機(jī)械測(cè)試。 該儀器的力荷載和位移測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍很大,,因而可以實(shí)現(xiàn)從軟聚合物到金屬材料的精確和可重復(fù)測(cè)試,。 模塊化選項(xiàng)適用于各種應(yīng)用:材料性質(zhì)分布,、特定頻率測(cè)試、刮擦和磨損以及高溫測(cè)試,。 iNano提供了一整套測(cè)試擴(kuò)展選項(xiàng),,包括樣品加熱、連續(xù)剛度測(cè)量,、NanoBlitz3D/4D屬性映射和遠(yuǎn)程視頻選項(xiàng),。

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