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Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度,、粗糙度,、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,，大垂直范圍和低觸力測量功能,。
探針測量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān),。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量,。 通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進(jìn)行量化,，確定添加或去除的材料量,，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
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