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| Ovation VHF電源系統(tǒng) |
| Ovation 全整合供電系統(tǒng)通過採用一種獨特的供電方案,，能夠實現(xiàn)更快、更精確的製程過程,，如要求嚴格的窄線寬,、介電質蝕刻製程。該系統(tǒng)**在無需外部感測器的情況下,，為非 50-ohm 環(huán)境供電,，反應比傳統(tǒng)電源更快。60-MHz 的設計減小了整個電漿鞘層的電壓勢能,，**限度地減小了離子蝕刻損傷,，從而提高了薄膜品質和良品率。 |
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