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應(yīng)用：
◆半導(dǎo)體,、研究所等需要用到晶圓分揀的單位。
技術(shù)參數(shù)：
Genmark 公司的Sort-Max是一種快速,、穩(wěn)定,、潔凈的晶圓分揀器。Sort-Max可以適用于100mm~300mm的晶圓或光罩,。它的功能包括分揀,、檢查、lot分離,、儲(chǔ)存,、合并、ID掃描和FOUP平衡等,。
主要特點(diǎn)：
◆快速,、穩(wěn)定、潔凈,；
◆可定制化,；
◆吞吐量高；
◆自我調(diào)節(jié),。
暫無數(shù)據(jù),！
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