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SAB9500是一款半自動的超原子束拋光機,，可利用超原子束對2-12寸晶圓或不規(guī)則樣品進行超精密表面拋光，可加工材料包括Si,、SiC,、InP、GaAs,、GaN,、金剛石、LN,、LT,、光學(xué)晶體等。

2-12寸及不規(guī)則樣品兼容晶圓尺寸

• 項目

  指標(biāo)

• 晶圓尺寸

  2-12寸及不規(guī)則樣品

• 上料模式

  手動上下料

• 傳輸系統(tǒng)

  手動/定制工裝

• 去除效率

  60keV：800 ?*cm²/s@SiO₂
  20keV ：40 ?*cm²/s@SiO₂

• 支持工藝氣體

  Ar/SF6/O₂/He或其他混合氣體

• 束流強度

  ＞100μA @Ar

• 束斑尺寸

  半高寬<10mm