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SAB6210HB是一款混合鍵合（Hybrid bonding）專用設(shè)備,。用于混合鍵合的晶圓表面有Cu pad和介電材料（SiO2或SiCN等）組成的圖案,，并且Cu pad有一定的下凹量（Dishing），通過(guò)等離子體處理,、水洗甩干使圖案晶圓表面的介電材料富集-OH,，在大氣、室溫下通過(guò)MARK進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn),、鍵合,。

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