參考價(jià)格
面議型號(hào)
SAB6410TB-全自動(dòng) 臨時(shí)鍵合設(shè)備品牌
青禾晶元產(chǎn)地
天津樣本
暫無看了SAB6410TB-全自動(dòng) 臨時(shí)鍵合設(shè)備的用戶又看了
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
SAB6410TB是一款全自動(dòng)臨時(shí)鍵合機(jī),,集成旋涂,、烘烤、對(duì)準(zhǔn),、鍵合等功能,,通過黏合劑將兩個(gè)晶圓鍵合在一起,從而可進(jìn)行器件晶圓的背面工藝,。
項(xiàng)目
指標(biāo)
晶圓尺寸
4,、6、8,、12inch
**溫度
350℃
**壓合力
20kN,,控制精度 ≤±1%
**升溫速度
20℃/min
溫度均勻性
≤±1.5%
對(duì)準(zhǔn)精度
≤±100μm
鍵合后TTV
≤3μm
多模塊一體化集成
尋邊、旋涂,、烘烤,、鍵合,、檢測(cè)
暫無數(shù)據(jù)!