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DJ MicroLaminates成立于二零零九年,,以銷售電子光刻膠材料技術(shù),,并提供產(chǎn)品開發(fā),工藝開發(fā)服務和市場開發(fā)活動,。由DJ MicroLaminates開發(fā)的產(chǎn)品有針對性的技術(shù),,以滿足先進的MEMS制造和晶圓級封裝的需求。
DJ MicroLaminates目前開發(fā)的光刻膠干膜(TDFS),是層壓板預切晶圓或基板尺寸,。
SUEX TDFS
是感光厚環(huán)氧樹脂片,,應用于晶圓級封裝和MEMS。該片材由兩個被剝離的聚酯薄膜保護層(PET)中間包含的陽離子固化改性環(huán)氧樹脂的光阻構(gòu)成,。環(huán)氧樹脂的光阻中含有無銻的光酸生成劑,,并在一個嚴格控制的無溶劑的過程中制備,它能提供均已的涂層,。該方法應用于負性光阻的開發(fā),,該種光阻對在350-400nm的范圍內(nèi)的紫外線輻射敏感。
DJ MicroLaminates提供的產(chǎn)品是SUEX,, SUEX Plus,,以及ADEX系列的環(huán)氧樹脂負性光刻膠干膜,厚度范圍在5微米至超過1mm內(nèi),。干膜很容易層壓在基板表面,,并可在幾分鐘內(nèi)預備使用。
SUEX適合并且與以下物質(zhì)有良好的粘合性:硅,,氮化硅,,銅,金,,玻璃,,聚合物和其它金屬和氧化物。
標準厚度:
100um,,150um,,200um,250um,,350um,,500um,650um,,750um和1mm
一般儲存溫度:
使用之前,,應在21℃至25℃溫度中存放15-18小時,這樣為**效果,,并易于加工,。
SUEX/SUEX Plus/ADEX干膜光刻膠
1)總處理時間:小于5分鐘
2)**的厚度均勻性,邊緣無光
3)高熱穩(wěn)定性-高韌性
4)無銻化學環(huán)境,,無材料浪費
選擇干膜的優(yōu)勢
1)無需昂貴的勻膠和烘膠設備
2)對Fab環(huán)境要求較低
3)整片晶圓上厚度均勻
4)無需去邊工藝
5)100%平坦化(真空壓膜)
6)膠膜內(nèi)部成份分布均勻
7)適合UV和X射線曝光
8)高透過率
9)生產(chǎn)過程中減少了溶劑使用
10)綠色環(huán)保
暫無數(shù)據(jù),!