參考價格
面議型號
品牌
產(chǎn)地
韓國樣本
暫無看了CTS AIP300型全自動CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
**,、產(chǎn)品簡介：
韓國CTS公司的AIP300型CMP拋光機(jī)是一款12寸工業(yè)級CMP系統(tǒng),，可兼容4寸，6寸,，8寸,，12寸樣品，可用于工廠及小批量量產(chǎn),。
第二,、產(chǎn)品主要特色：
1、CMP拋光頭：采用氣囊加載模式,，5區(qū)壓力獨(dú)立控制,，可得到良好的工業(yè)級拋光效果；
2,、自動上下片,，自動拋光，干進(jìn)干出,；
3,、拋光墊修整器：擺臂式設(shè)計，由13個傳感器分別控制13個區(qū)域的下壓力,，可保證拋光墊高水平修整,；
4,、拋光墊修整器：具有在線修整與離線修整兩種模式；
5,，工藝數(shù)據(jù)可實(shí)時監(jiān)測,；
6、可存儲多個Recipe,；
7,、帶兩個手臂及自動雙面清洗設(shè)備
第三、核心技術(shù)參數(shù)：
拋光頭 | 兼容4寸,，6寸,，8寸，12寸 |
拋光頭擺動范圍 | ±15mm |
拋光頭轉(zhuǎn)速 | 0-200rpm |
拋光頭加壓方式 | 氣囊柔性加壓背壓功能（-區(qū)加壓） |
拋光頭壓力范圍 | 0.14-14 psi |
拋光盤尺寸 | 20英寸 |
拋光盤轉(zhuǎn)速 | 0-200 rpm |
蠕動泵 | 2個 |
拋光液流速 | 20-500 cc/min |
拋光墊修整器分區(qū) | 13區(qū) |
拋光墊修整器在線掃描速度 | 10sweeps/min |
拋光墊修整器下壓力 | 3-20lbs |
拋光墊修整器轉(zhuǎn)速 | 0-150rpm |
CMP后片內(nèi)非均勻性WIWNU 1sigma,，去邊5mm | < 5% |
CMP后片間非均勻性WTWNU 1sigma,，去邊5mm | < 3% |
儀器尺寸 | 1000×2030×2100(W× L× H， mm) |
冷卻系統(tǒng) | 包含 |
四,，應(yīng)用實(shí)例：
?CMP工藝 Si CMP,， 氧化物 CMP(BPSG， TEOS,， ThOx),， 金屬 CMP(W， Cu),， 介質(zhì)膜,，STI等
?工藝開發(fā)可協(xié)助客戶進(jìn)行各類材料/薄膜等的CMP工藝技術(shù)開發(fā)
暫無數(shù)據(jù)！
CTS AIP300型全自動CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的工作原理介紹,？CTS AIP300型全自動CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的使用方法,？CTS AIP300型全自動CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)多少錢一臺？CTS AIP300型全自動CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)使用的注意事項(xiàng)CTS AIP300型全自動CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的說明書有嗎,？CTS AIP300型全自動CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的操作規(guī)程有嗎,？CTS AIP300型全自動CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的報價含票含運(yùn)費(fèi)嗎？CTS AIP300型全自動CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)有現(xiàn)貨嗎,？CTS AIP300型全自動CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)包安裝嗎,？
移動端
工商已核實(shí)
