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產品簡介:
ST500型三維表面形貌儀是一款高速的三維形貌儀,,采用國際**的白光共聚焦線光源技術,,可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度超快測試,具有測量精度高,,速度快,,重復性好的優(yōu)點,主要用于測量大尺寸樣品表面的三維表面形貌,。
產品原理:采用白光共聚焦色差技術,,可獲得納米級的分辨率
- 利用白光點光源,光線經過透鏡后產生色差,,不同波長的光分開后入射到被測樣品上,。
- 位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經被測點漫反射后的光。
- 根據(jù)準共聚焦原理,,探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光,,從而得到這個點距 離透鏡的垂直距離,。
- 再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標,即X-Z坐標
- *后以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標
- *后將采集的三維坐標數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進行各種表面參數(shù)的分析,。
- 軟件能夠自動獲取用戶關心的表面形貌參數(shù),。
產品特性:
- 采用白光共聚焦色差技術,,可獲得納米級的分辨率
- 測量具有非破壞性,,測量速度快,精確度高
- 測量范圍廣,,可測透明,、金屬材料,半透明,、高漫反射,,低反射率、拋 光,、粗糙材料(金屬,、玻璃、木頭,、 合成材料,、光學材料、塑料,、涂層,、涂料、漆,、紙,、皮膚、頭發(fā),、牙齒…),;
- 尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
- 不受環(huán)境光的影響
- 測量簡單,樣品無需特殊處理
- Z方向測量范圍大:為27mm
主要功能:
- 可創(chuàng)建任意區(qū)域的2D曲線圖或2D等高線分布圖,;
- 可創(chuàng)建任意區(qū)域的3D圖像,;
- 自動得到樣品的一維線粗糙度參數(shù)(Ra,Rp,,Rv,,Rz,Rc,,Rt,,Rq,Rsk,,Rku),;
- 自動得到樣品的二維面粗糙度(Sa,,Sp,Sq,,Sv,,Sz,Ssk,,Sku),;
- 可得到樣品的平整度,波紋度等參數(shù),;
- 自動校準功能,,例如粗糙度,一般情況下對于曲面樣品,,首先展平,,然后自動給出粗糙度的參數(shù);
- 具有尺寸測量:長度,,寬度,,角度,深度,,臺階高度,;
- 可測孔洞磨損面積,磨損體積等參數(shù),;
- 具有功率譜密度測試功能,;
- 具有分形統(tǒng)計功能;
......
主要技術參數(shù):
- XY全自動**掃描范圍:400×300(mm)
- XY掃描步長:0.1μm
- **掃描速度:200mm/s
- Z方向**測量范圍:27mm
- Z方向測量分辨率:2nm
產品應用:
MEMS,、半導體材料,、太陽能、摩擦磨損,、汽車,、腐蝕、砂紙,、巖石等,。
暫無數(shù)據(jù)!