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• 產(chǎn)品簡介：

  ST500型三維表面形貌儀是一款高速的三維形貌儀,，采用國際**的白光共聚焦線光源技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度超快測試,，具有測量精度高，速度快,，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn),，主要用于測量大尺寸樣品表面的三維表面形貌。

• 產(chǎn)品原理：采用白光共聚焦色差技術(shù),，可獲得納米級的分辨率

  - 利用白光點(diǎn)光源,，光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長的光分開后入射到被測樣品上,。

  - 位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點(diǎn)漫反射后的光,。

  - 根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理，探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點(diǎn)反射回來的特定波長的光,，從而得到這個(gè)點(diǎn)距 離透鏡的垂直距離,。

  - 再通過點(diǎn)掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo)，即X-Z坐標(biāo)

  - *后以S路徑獲得物體每個(gè)點(diǎn)的三維X-Y-Z坐標(biāo)

  - *后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析,。

  - 軟件能夠自動獲取用戶關(guān)心的表面形貌參數(shù),。

• 產(chǎn)品特性：

  - 采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率

  - 測量具有非破壞性,，測量速度快,，精確度高

  - 測量范圍廣，可測透明,、金屬材料，半透明,、高漫反射,，低反射率、拋 光,、粗糙材料(金屬,、玻璃、木頭,、 合成材料,、光學(xué)材料、塑料,、涂層,、涂料、漆,、紙,、皮膚、頭發(fā),、牙齒…),；

  - 尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面

  - 不受環(huán)境光的影響

  - 測量簡單,，樣品無需特殊處理

  - Z方向測量范圍大：為27mm

• 主要功能：

  - 可創(chuàng)建任意區(qū)域的2D曲線圖或2D等高線分布圖；

  - 可創(chuàng)建任意區(qū)域的3D圖像,；

  - 自動得到樣品的一維線粗糙度參數(shù)（Ra,，Rp，Rv,，Rz,，Rc，Rt,，Rq,，Rsk，Rku）,；

- 自動得到樣品的二維面粗糙度（Sa,，Sp，Sq,，Sv,，Sz，Ssk,，Sku）,；

- 可得到樣品的平整度，波紋度等參數(shù),；

- 自動校準(zhǔn)功能,，例如粗糙度，一般情況下對于曲面樣品,，首先展平,，然后自動給出粗糙度的參數(shù)；

- 具有尺寸測量：長度,，寬度,，角度，深度,，臺階高度,；

- 可測孔洞磨損面積，磨損體積等參數(shù),；

- 具有功率譜密度測試功能,；

- 具有分形統(tǒng)計(jì)功能；

......

• 主要技術(shù)參數(shù):

  - XY全自動**掃描范圍：400×300（mm）

  - XY掃描步長：0.1μm

  - **掃描速度：200mm/s

  - Z方向**測量范圍：27mm

  - Z方向測量分辨率：2nm

• 產(chǎn)品應(yīng)用：

  MEMS,、半導(dǎo)體材料,、太陽能、摩擦磨損,、汽車,、腐蝕,、砂紙、巖石等,。