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晶圓尺寸:6/8英寸
Nafer size: 6/8 inches ウェハーサイズ:６インチ～８インチ
溫度范圍:溫度200-800℃,，溫度均勻性±3℃
Temperature 200-800 °Ｃ, temperature uniformity±3 °Ｃ
溫度範(fàn)囲：溫度200-８００°Ｃ,、許容溫度範(fàn)囲±2℃
壓力:**20000N，力均勻性＜±1%
Pressure Maximum 20,000 N,Force Uniformity<±1%
圧力：**２0000Ｎ,、力の均等性＜±1%
真空度:≤10Pa
Vacuum pressure:≤10Pa 真空度:≤10Pa
壓頭:柔性壓頭/硬性壓頭
Indenter: Flexible indenter/rigid indenter
圧子：軟性圧子/硬性圧子
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