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該設(shè)備是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,，用于大規(guī)模集成電路,、 分立器件、電力電子、光電器件等行業(yè)的氧化,、擴散,、退火、合金等工藝,。
氧化工藝：主要用于初始氧化層,、柵氧化層、場氧化層等多種氧化介質(zhì)層的制備工藝,。
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