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SiC高溫氧化爐品牌
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專用于SiC晶圓的高溫氧化工藝，可實(shí)現(xiàn)晶圓片高溫真空環(huán)境下完成氧化工藝,。
可使用O2,N2O,，NO，NO2或濕法氧化,，采用無金屬加熱和真空裝備,。
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