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LPCVD立式爐品牌
山東力冠產(chǎn)地
山東樣本
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半導(dǎo)體集成電路制造的重要設(shè)備之一,，主要用于POLY, D-POLY, SiN,TEOS,。
LPCVD equipment is one of the important equipments for semiconductor integrated circuit manufacturing,which is mainly used for the growth of LP-POLY,LP-DPOLY,LP-SiN，LP-TEOS thin films.
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