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型號：IBSH-1030

特點：

1,、基板水平放置，垂直監(jiān)控,；

2,、靶材左右移動，位置和速度可編程控制,；

3,、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4,、靶材：兩靶,，三靶或四靶可更換；

5,、多光路監(jiān)控,。

6、無膜厚分布修正板

型號：IBSH-1030

特點：

1,、基板水平放置,，垂直監(jiān)控,；

2、靶材左右移動,，位置和速度可編程控制,；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4,；

4,、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換,；

5,、多光路監(jiān)控。

6,、無膜厚分布修正板

型號：IBSH-1030

特點：

1,、基板水平放置，垂直監(jiān)控,；

2,、靶材左右移動，位置和速度可編程控制,；

3,、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4,、靶材：兩靶,，三靶或四靶可更換；

5,、多光路監(jiān)控,。

6、無膜厚分布修正板