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通用磁控濺射鍍膜機(jī)GMS-1000品牌
杰萊特產(chǎn)地
江蘇樣本
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型號:GMS-1000 特點(diǎn): 1,、支持向上或向下的鍍膜方式; 2,、先進(jìn)的濺射靶材結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),,實(shí)現(xiàn)膜厚分部的穩(wěn)定可靠; 3,、高速旋轉(zhuǎn)的傘具與實(shí)際鍍膜工件的監(jiān)控位置,,實(shí)現(xiàn)了所見即所得; 4,、多通道透射式監(jiān)控,,配合可調(diào)節(jié)膜厚修正板,實(shí)現(xiàn)了膜厚分布的反饋控制,; 5,、支持任意膜厚的控制; 6,、通用的控制平臺,,友好的人機(jī)界面,,使客戶可以自行設(shè)置鍍膜機(jī)的所有控制參數(shù); 7,、開放式接口,,方便安裝第三方的光學(xué)膜厚儀; 8,、氣流和氣壓同時實(shí)時控制,,適用出氣量大的低溫鍍膜。 | 工藝參數(shù): 1,、真空系統(tǒng) a) 極限真空度:4.0×10-5Pa b) 抽至10Pa所用時間:≦ 10 分鐘 c) 漏率: 3.0×10-5Pa m3/sec 2,、控制精度 a) 靶材尺寸:8寸直徑 b) 工件旋速: 20-120RPM c) 工件尺寸:直徑900mm d) 離子源:等離子體離子源 e) 加熱溫度:上下雙加熱控制,**溫度350度 f)高真空泵:DN400油擴(kuò)散泵或電子泵 g)低真空泵組:機(jī)械泵+羅茨泵機(jī)組 h)冷阱:雙組Polycold 3,、光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMS a) 波長精度:0.2nm b) 光強(qiáng)波動: 白光< 0.1%,,激光< 0.02% c) 波長范圍: 400nm-1650nm |
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