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型號：IBSV-1030 特點(diǎn)： a)基板垂直放置,，水平監(jiān)控； b)轉(zhuǎn)靶左右可調(diào),，保證靶面中心和離子源**距離,； c)基板：12吋×1 ; d)靶材：兩靶或三靶可更換； e)多光路監(jiān)控,。 f)工件夾具：12吋 |
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