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型號：IBSH-1030

特點：

1、基板水平放置,，垂直監(jiān)控,；

2、靶材左右移動,，位置和速度可編程控制,；

3、基板：12吋×1 或 6吋×4,；

4,、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換,；

5,、多光路監(jiān)控。

6,、無膜厚分布修正板

工藝參數(shù)：

一,，真空系統(tǒng)

1、極限真空度：4.0×10-5Pa 

2,、抽至10Pa所用時間：≦ 10 分鐘

3,、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

二，控制精度

1,、靶材旋轉(zhuǎn)：0.005°

2,、工件旋轉(zhuǎn):<1000RPM

3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev

4,、膜厚修正板：0.005°

5,、擋板:  position switch

三,，光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMS

1、波長范圍：380nm～1650nm

2,、光源穩(wěn)定性 :白光< 0.1%,，激光< 0.02%

3、波長分辨率: 白光0.2nm,，激光0.1nm

4,、波長準確度: 白光0.2nm ，激光0.1nm