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ASML 二手ArF浸沒式光刻機XT:1900Gi品牌
佳鼎半導體產(chǎn)地
山東樣本
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TWINSCAN XT:1900Gi Step-and-Scan 系統(tǒng)是一種高生產(chǎn)率的雙級浸沒式光刻工具，專為 45 納米及以下分辨率的 300 毫米晶圓批量生產(chǎn)而設(shè)計,。
XT：1900Gi采用蔡司星石1900i浸沒鏡頭,。這是現(xiàn)有的大型ArF鏡頭，在1.35NA時,，它推動了水基ArF浸入式平版印刷達到極限,。結(jié)合ASML的Ultra-k1產(chǎn)品組合，它提供了行業(yè)*低的可用k1值,，它可以實現(xiàn)40nm及以下的半間距分辨率,。
XT：1900Gi采用新的測量和曝光周期，它為浸入式光刻設(shè)定了一個新的基準,，每小時生產(chǎn)131個晶片,。
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