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關鍵應用：

柵極預清洗

RCA清洗

光阻去除

氧化硅腐蝕

氮化硅腐蝕

CoSix選擇性腐蝕

產品優(yōu)勢：

1、占地面積小,，將外部unit 集成在設備內部來減小整體的占地面積,；

2、高產能,，優(yōu)化的Marangoni Dryer,；

3、重新設計槽體流場,，較好的清洗效果和均一性;

4,、有機清洗，控片回收,；

5,、機臺將back conveyor集成在機臺的后上方，節(jié)省了空間 ,；

6,、機臺采用PLC和PC的結合控制方式， 系統(tǒng)可靠高,；

7,、優(yōu)化機臺內部流場設計，帶來更好的articleperformance

8,、破片偵測系統(tǒng),，防止二次傷害；