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Nikon尼康二手i-line光刻機NSR 2205 i12D
Nikon尼康二手i-line光刻機NSR 2205 i12D

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型號

Nikon尼康二手i-line光刻機NSR 2205 i12D

品牌

佳鼎半導體

產(chǎn)地

山東

樣本

暫無
青島佳鼎半導體

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尼康的這款i-line光刻機NSR 2205i12D是****的光刻系統(tǒng)之一,。分辨率≦350 nm，曝光光源i-line（365nm波長），縮小比1:5,，曝光場22mm*22mm至17.9(H)*25.2(V)mm(6-inch reticle), 20.0*20.4mm(5-inch reticle), 對準精度 (EGA,|M|+3σ)≦55nm,。NIKON NSR 2205i12D是步進器和掃描儀系統(tǒng)。NSR 2205i12D可用于8英寸晶圓尺寸,。


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