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200 kV相差校正TEM/STEM,，平衡了空間分辨率和傾斜,、分析性能

通過單極片實(shí)現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度,、高立體角EDX,。

透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自動(dòng)校正功能,，像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術(shù)等特點(diǎn),。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。

對于包括高端用戶在內(nèi)的廣泛用戶,，我們提供亞?級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法,。

特點(diǎn)：

標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動(dòng)校正功能）

搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍

鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升

觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像

采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿

支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）

采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋

配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿

選項(xiàng)

高輝度冷場FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器

以長年積累起來的高輝度冷場FE電子源技術(shù)為基礎(chǔ),，進(jìn)行優(yōu)化,，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)電子槍的高度穩(wěn)定性。

此外,，還更新了鏡體,，電源系統(tǒng)和樣品臺，以支持觀察亞?圖像,，并提升了機(jī)械和電氣穩(wěn)定性,，然后與日立公司的球差校正器結(jié)合使用。

不僅可以穩(wěn)定地獲得更高亮度更精密的探頭,，而且自動(dòng)像差校正功能可以實(shí)現(xiàn)快速校正,，從而易于發(fā)揮設(shè)備的固有性能。使像差校正可以更實(shí)用,。

支持高立體角EDX*的對稱Dual SDD*

支持雙重配置100 mm2 SDD檢測器,，以實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度和處理能力進(jìn)行EDX元素分析,。

由于第二檢測器位于**檢測器的對面位置，因此,，幾乎不會(huì)因?yàn)闃悠穬A斜,，導(dǎo)致X射線中的信號檢測量發(fā)生變化。所以,，即使是結(jié)晶性樣品,，也不用顧忌信號量,，可完全按照樣品的方向與位置進(jìn)行元素分析。

此外,，對于電子束敏感樣品,、低X光輻射量的樣品，除了原子列映射,，在低倍,、廣視野的高精細(xì)映射等領(lǐng)域也極為有效。

像差校正SEM圖像/STEM圖像　同時(shí)觀察

配有標(biāo)配二次電子檢測器,，可同時(shí)觀察像差校正SEM/STEM圖像,。通過同時(shí)觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可以掌握樣品的三維構(gòu)造,。

在像差校正SEM圖像中,，除了可以通過校正球差來提高分辨率之外，還可以獲取更真實(shí)地樣品表面圖像,。