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面議型號(hào)
氣相沉積設(shè)備ATS500品牌
創(chuàng)世杰產(chǎn)地
北京樣本
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ATS 500設(shè)計(jì)用于OLED,、有機(jī)電子應(yīng)用,、光伏、半導(dǎo)體器件,、透鏡和光學(xué)濾波器的研發(fā)和小批量生產(chǎn),。
系統(tǒng)特色是配有全彩觸摸屏的PLC,集成了工藝菜單控制和數(shù)據(jù)記錄功能,,可以選配全電腦控制,。
ATS 500提供廣泛的工藝選項(xiàng),包括:
熱阻蒸發(fā)源,。
溫度控制蒸發(fā)源,,用于OLED和有機(jī)光伏應(yīng)用。
電子束蒸發(fā)源,,用于高速率蒸發(fā),。
離子束輔助,用于光學(xué)應(yīng)用或者基板清洗,。
DC,、RF和脈沖DC源,用于金屬和電解質(zhì)向上或者向下的濺射工藝,。
以上兩個(gè)或者多個(gè)功能的混合系統(tǒng)
暫無數(shù)據(jù),!