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方腔式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備品牌
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FC-3800和FC-4400是適用于潔凈室的、真空鎖結(jié)構(gòu)的系統(tǒng),，專門面向lift-off工藝的大生產(chǎn)應(yīng)用,。這些鍍膜機(jī)為連續(xù)高效的運(yùn)行而設(shè)計，并提供高均勻性的薄膜沉積,。FC-3800的源基間距為34”（965mm）,，而FC-4400的源基間距為42”（1067mm）。這兩款系統(tǒng)都可配置成獨(dú)立機(jī)臺或穿墻式潔凈室安裝,，也都支持鍍膜源,、材料進(jìn)給、加熱,、清洗等附件的各種組合,。
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