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成都真空設(shè)備 surpass大口徑干法刻蝕機(jī)裝備
成都真空設(shè)備 surpass大口徑干法刻蝕機(jī)裝備

參考價(jià)格

100-150萬元

型號(hào)

CM-015

品牌

超邁光電

產(chǎn)地

四川成都

樣本

暫無
成都漢普升科技有限公司

會(huì)員

|

第2年

|

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●Surpass系列 干法刻蝕機(jī),，特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結(jié)構(gòu)的基片刻蝕,，刻蝕尺寸可達(dá)φ2500mm,，通過高密度等離子體及離子濃度修正系統(tǒng)，可達(dá)到基片有效刻蝕區(qū)域內(nèi)均勻性較高的技術(shù)指標(biāo),，滿足大口徑基片刻蝕的需求,。


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10分

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