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●該設(shè)備為電阻,、電子束或電阻電子束復(fù)合鍍膜系統(tǒng),，同時兼容IBE等離子刻蝕和在線輔助鍍膜，過流部件均采用SUS304制造,，真空系統(tǒng)后置,，標準配置分子泵系統(tǒng)，標配工業(yè)級人機界面和西門子PLC系統(tǒng),，手動和自動模式自由切換，能夠滿足工業(yè)客戶小批量生產(chǎn)和科研院所客戶科研實驗的需求,。該系列設(shè)備不提供全手動操作控制系統(tǒng),。

形式：箱式一體機，立式前開門,，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,，一體機系統(tǒng)。

●真空系統(tǒng)：極限真空5X10-4Pa,，主泵為復(fù)合分子泵,。

●真空測量：配三路數(shù)字復(fù)合真空計，均采用安全防爆金屬測量規(guī),。

●工件架系統(tǒng)：客戶需求定制,，配置可擴展4英寸、3英寸,、2英寸基片的專用互換工裝,，轉(zhuǎn)速3～30rpm變頻可調(diào)，工件盤為球形和行星工件盤可選,，行星工件盤成本較高,。

●烘烤系統(tǒng)：不銹鋼鎧裝加熱器匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊，烘烤溫度300℃,，溫控精度1℃,，過沖不超過2℃。

●電子束蒸發(fā)源：E型電子束蒸發(fā)源系統(tǒng)(E型)1套,，主體有屏蔽罩,，單槍、單電源,、單掃描,，配置獨立高壓控制柜。

●坩堝：坩堝1套,，電動轉(zhuǎn)位和點動轉(zhuǎn)位,，配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。

●電阻蒸發(fā)源：2套電阻蒸發(fā)源,。（選配）

●膜厚測試系統(tǒng)：配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統(tǒng),， RS-232 和 USB兼容,，匹配水冷膜厚探頭。

●離子源輔助沉積系統(tǒng)：一套（選配離子源或高壓離子轟擊系統(tǒng)）

●控制系統(tǒng)：成熟可靠的真空鍍膜控制系統(tǒng),，工業(yè)級10英寸觸摸屏和西門子PLC,，能夠?qū)崿F(xiàn)抽真空、工轉(zhuǎn)烘烤,、自動充氣,、自動鍍膜、自動冷卻放氣等鍍膜生產(chǎn)流程,；支持半自動和手動等鍍膜操作方式,。水、電,、氣路有故障自動報警和保護系統(tǒng),，采用聲光報警。

●說明：根據(jù)用戶要求,，公司愿與客戶聯(lián)合研發(fā),，共享知識產(chǎn)權(quán)，公司致力于工藝與設(shè)備**匹配,。