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●形式：箱式一體機,，立式前開門，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,，沉積腔采用SUS304真空氬弧焊成型不,，一體機系統(tǒng)，可連接單排雙工位手套箱,，中間用DN150超高真空插板閥隔斷,。

●真空系統(tǒng)：極限真空5X10-4Pa，主泵為復(fù)合分子泵,，抽速600L/S,前級泵配置直聯(lián)泵,，主閥匹配。

●真空測量：配數(shù)字復(fù)合真空計,，均采用防爆金屬測量規(guī),。

●工件架系統(tǒng)：客戶需求定制，可放入4英寸掩模版,，轉(zhuǎn)速3～30rpm變頻可調(diào),。

●烘烤系統(tǒng)：匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊，*高烘烤溫度300℃,。

●電阻蒸發(fā)源：水冷電極引入，2套電阻蒸發(fā)源,，蒸發(fā)功率5KW,，配置8KWE型電子槍1套，膜厚測試系統(tǒng),。匹配石英膜厚儀,，可與擋板聯(lián)動。

●控制系統(tǒng)：成熟可靠的真空鍍膜控制系統(tǒng),，工業(yè)級10英寸觸摸屏和西門子PLC,，能夠?qū)崿F(xiàn)抽真空,、工轉(zhuǎn)烘烤、自動冷卻放氣等鍍膜生產(chǎn)流程,；支持半自動和手動等鍍膜操作方式,。水、電,、氣路有故障自動報警和保護(hù)系統(tǒng),，采用聲光報警。

●輔助系統(tǒng)：配置冷水機1臺,，空壓機1臺,。

●說明：本系統(tǒng)含單排雙工位手套箱1臺，單邊4個手套,，有效長度1.8米,。