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●設(shè)備主要由真空腔體,、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng),、濺射系統(tǒng)、過渡倉,、磁力機(jī)械手,、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成,，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),，可根據(jù)客戶使用需求定制,。

●真空腔體：φ650X700雙層水冷；（可根據(jù)實際需求定制）

●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng),；

●真空抽速：1600L/S,，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計,，全金屬防爆真空規(guī)；

●極限真空：6.7X10-5Pa,；（根據(jù)客戶選擇主泵確定）

●磁控靶組件：4個矩形靶,，3個圓形靶,，根據(jù)客戶實際需要匹配中頻、射頻,、脈沖直流濺射電源,；

●離子源：1套線性離子源，匹配專用電源,；

●氣路：4路反應(yīng)氣體,，進(jìn)口質(zhì)量流量計,，1路毛細(xì)保護(hù)氣路,；

●烘烤溫度：300℃，不銹鋼鎧裝加熱器,，可拆卸快裝結(jié)構(gòu),；

●工件盤：導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套，工件盤裝夾移動小車一輛,；

●控制系統(tǒng)：西門子PLC+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計算機(jī)。