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1. 主體：全封閉框架結(jié)構(gòu),，真空室為前開門方式，機柜和主機為一體式機構(gòu),。采用優(yōu)質(zhì)0Cr18Ni9不銹鋼材料（SUS304）,，箱體尺寸為不小于φ350X400mm,。設(shè)置DN100觀察窗口，位于真空腔體門正前方,，骨架默認(rèn)白色（或鋁合金本色）,，門板為白色，四只腳輪,，可固定,，可移動。室體,、真空機組,、磁控靶等有斷水報警鎖定安全裝置，能夠防止停水后出現(xiàn)安全隱患,。

2. 真空系統(tǒng)：

2.1極限真空度：≤6.63×10－4Pa（空載,、經(jīng)充分烘烤除氣并充干燥氮氣）。

2.2真空配置：高速直聯(lián)旋片泵一臺,，抽速大于6L/S,，超高分子泵一臺，抽速600L/s,。

2.3真空測量：兩路電阻規(guī),，一路電離規(guī)；對真空室和真空管道分別精確監(jiān)控,，帶數(shù)據(jù)通訊,。

3. 工件架系統(tǒng)：單工位4英寸工件盤，工件盤可加熱至500攝氏度,，工件架真空室底部安裝,，便于更換基片，轉(zhuǎn)速3～30rpm,。

4. 照明裝置：照明裝置1套,。

5. 磁控濺射系統(tǒng)：配置2-3個Φ50mm磁控靶，安裝于真空室頂部,，向下濺射成膜,。

6.充氣系統(tǒng)：二路分別配置質(zhì)量流量控制器，分別為0-100SCCM 1只,，0-200SCCM1只,，準(zhǔn)確度±1% F.S，線性±0.5 % F.S,，重復(fù)精度±0.2% F.S,。

7.循環(huán)冷卻水路：配置冷水機組與空壓機。

8.電氣控制系統(tǒng)：采用功能化模塊設(shè)計方式,，匹配西門子控制單元和MCGS人機界面,，實現(xiàn)真空系統(tǒng)的自動控制,，基本工作單元的控制，安全報警及故障信息顯示,，并通過文字方式提示,，軟件的功能和模塊可以根據(jù)實際需求進(jìn)行單列或合并,，但不得減少功能,。