看了Imprint Nano納米壓印的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
儀器簡介:
納米壓印的技術與工藝特點,,**性地設計和制備工作于低真空環(huán)境下,結合正負壓可控調節(jié)并利用壓縮空氣作為壓印驅動力的,,通過壓力傳導裝置,、緩沖與勻壓、壓力調節(jié)控制裝置等手段實現(xiàn)平穩(wěn)可靠可控的壓印過程,,借助于多種靈活的自動調節(jié)裝置的巧妙設計與運用,,實現(xiàn)壓印中的自動找平調控,以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復制轉移,。
技術參數(shù):
YPL-NIL-SI400納米壓印系統(tǒng):
溫度范圍從室溫到350攝氏度,;
壓力范圍從0到20個PSI(在4英寸晶元上);
紫外曝光系統(tǒng),;
真空范圍從1個標準大氣壓到0.1帕,;
水冷系統(tǒng);
樣品尺寸直徑**4英寸,;
PLC遠程控制,,帶觸摸屏;
手動裝載樣品和模板,;
自帶機器控制軟件,;
在軟件控制下可實現(xiàn)自動增加和釋放壓力;
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機,。
YPL-NIL-SI400 NANOIMPRINT SYSTEM
*Thermal Imprinter
Temperature range of R.T. to 350℃
Pressure range of 0 to 20 atm
*UV exposure system
*Vacuum range of 1atm to 10-1 Pa
* Sealed Bellows
*Wafer/Mask Holders: maximum 4 inch dia. Samples: Smart Sample Holder for
irregular shaped samples and piece parts.
*Control electronics
*PLC control and Touch Screen
*Manual loading and unloading of wafers and masks
*Proprietary Machine Control Software
Including (A) SI400 nanoimprint system (B) training,, Warranty, other,, and (C) Options
主要特點:
該納米壓印機利用紫外曝光或者熱壓固化實現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復制,,并通過各項功能與過程參量的優(yōu)化與篩選,通過遠程PLC控制系統(tǒng)結合觸摸屏單元,,實現(xiàn)納米壓印全過程的實時監(jiān)控與全自動化控制,。
暫無數(shù)據(jù)!