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歐洲先進的無掩膜激光直寫系統(tǒng),，*小線寬可達 100nm，為MEMS,， BioMEMS,， Micro Optics， ASICs,， Micro Fluidics,， Sensors， CGHs等以及相關微納米結(jié)構領域的科研工作者,，提供強有力的手段,！
技術參數(shù)：
加工線寬：*小可達 100nm；
主要特點：
多種曝光模式：
2D曝光模式：構建二維納米結(jié)構,；
3D曝光模式：可加工三維納米結(jié)構,；
壓電驅(qū)動平臺配合精密自動驅(qū)動平臺，具有更高的水平定位分辨率,；
系統(tǒng)自動聚焦,、糾斜、對準,；
多功能試樣夾具,；
快速樣品樣品更換：<1秒；
專業(yè)圖形設計軟件：支持導入CAD設計軟件,，2D和3D隨意簡單設計,；
暫無數(shù)據(jù),！
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