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應(yīng)用：

◆蝕刻-半導(dǎo)體-砷化鎵等

◆蝕刻-平板顯示

◆蝕刻-微機(jī)電系統(tǒng)

◆化學(xué)氣相沉積

◆去光阻

◆化學(xué)機(jī)械研磨

技術(shù)參數(shù)：

等離子體處理中的端點檢測和診斷技術(shù),。將光譜轉(zhuǎn)化為信號并通過自帶軟件進(jìn)行繪制和分析，從而了解機(jī)臺的工作狀況,。

可以將SD1024系列光譜儀集成到系統(tǒng)中,，或配置為使用時獨(dú)立于過程的控制器，這將有助于診斷應(yīng)用程序,。檢測器需要Verity的SpectraView軟件應(yīng)用程序,，通過一臺獨(dú)立的應(yīng)用計算機(jī)或Verity的MTC1000多任務(wù)計算機(jī)進(jìn)行操作。運(yùn)行SpectraView軟件的應(yīng)用計算機(jī)通過USB或以太網(wǎng)通信鏈路管理光譜儀。這個應(yīng)用計算機(jī)接收來自系統(tǒng)主控計算機(jī)或處理模塊的控制命令(配方,、啟動,、停止)，并根據(jù)接口的定義返回端點及其他事件結(jié)果,。

主要特點：

◆等離子診斷

◆缺陷檢測

◆200-800納米

◆制程監(jiān)控

◆符合RoHS要求

◆科研級CCD

◆體積小

◆軟件功能強(qiáng)大

◆可獨(dú)立操作