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一,、概述

SE-L 是一款全自動高精度光譜橢偏儀，集眾多科技**技術(shù),，采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù),，配置全自動測量模塊。通過橢偏參數(shù),、 透射/反射率等參數(shù)的測量,，快速實現(xiàn)光學參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析。

■ 高精度自動測量光學橢偏測量解決方案,；

■ 全自動變角、調(diào)焦等控制平臺,，一鍵快速測量,；

■ 軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計，易上手,、操作便捷,；

■ 豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證強大數(shù)據(jù)分析能力

二,、產(chǎn)品特點

■ 采用氘燈和鹵素燈復合光源,，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)；

■ 高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制,、PCRSA配置,，實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集；

■ 全自動橢偏測量技術(shù),，基于行業(yè)**電機控制技術(shù),，自動調(diào)整測量角度,，高精度控制臺，實現(xiàn)樣件快速自動對準找焦,；

■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫,、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料,；

■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫,、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料,；

三,、規(guī)格參數(shù)

四、產(chǎn)品應用

■ 半導體薄膜結(jié)構(gòu)：介電薄膜,、金屬薄膜,、高分子、光刻膠,、硅,、PZT膜，激光二極管GaN和AlGaN,、透明的電子器件等,；

■ 新材料，新物理現(xiàn)象研究：材料光學各向異性,，電光效應,、彈光效應、聲光效應,、磁光效應,、旋光效應、Kerr效應,、Farady效應等,；

■ 平板顯示：TFT、OLED,、等離子顯示板,、柔性顯示板等；

■ 光伏太陽能：光伏材料（如Si3N4,、Sb2Se3,、Sb2S3、CdS等）反射率,，消光系數(shù)測量,，膜層厚度及表面粗糙度測量等；

■ 功能性涂料：增透型、自清潔型,、電致變色型,、鏡面性光學涂層，以及高分子,、油類,、Al2O3表面鍍層和處理等；

■ 生物和化學工程：有機薄膜,、LB膜,、SAM膜、蛋白子分子層,、薄膜吸附,、表面改性處理等；

■ 塊狀材料分析：固體（金屬,、半導體,、介質(zhì)等）或液體（純凈物或混合物）的折射率n和消光系數(shù)k表征，玻璃新品研發(fā)和質(zhì)量控制等,。