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一、概述

SR-M 針對特定微小區(qū)域,，可提供微米級的聚焦光斑,，同時利用顯微物鏡定位測量點，從而獲取精準位置的厚度表征結(jié)果,。

■ 光斑大小可進行定制,，*小可達到10um；

■ 非接觸,、非破壞測量,；

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析,；

■ 配置靈活,、支持定制化

二、產(chǎn)品特點

■ 采用高強度鹵素光源,，光源穩(wěn)定性好,；

■ 采用光機電高度整合一體化設(shè)計，體積小，操作簡便,；

■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理,，輕松解析單層薄膜到多層；

三,、產(chǎn)品應(yīng)用

廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護膜,、有機薄膜、無機薄膜,、金屬膜,、涂層等薄膜測量。