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一、概述
SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀,，針對(duì)有機(jī)/無(wú)機(jī)鍍 膜工藝研究的需要開(kāi)發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測(cè)中的定制化 開(kāi)發(fā),，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。 |
二,、測(cè)試案例
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)成膜工藝
實(shí)時(shí)膜厚表征
三,、產(chǎn)品應(yīng)用
■ 廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜,、無(wú)機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積,，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過(guò)程中實(shí)際原位在線監(jiān)測(cè)并實(shí)時(shí)反饋測(cè)量物性數(shù)據(jù)。
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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