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微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)
微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

參考價(jià)格

面議

型號

定制-微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)

品牌

毅睿/芯壹方

產(chǎn)地

中國

樣本

暫無
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微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)


微波等離子體輔助原子層沉積系統(tǒng)第2頁-7.PNG



Description:

●微波頻率:2.45±0.025 GHz

●微波功率:≥3 KW連續(xù)可調(diào)

●可實(shí)現(xiàn) <+/-3% 的均勻沉積

●氣體:SiH4,NH3, N2O, Ar, N2, CF4,，O2...

●極限壓力:≤1X10-3 Torr

●尺寸:8英寸晶圓

●用途:SiO2，SixNx...etc.,

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