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熱蒸鍍
熱蒸鍍（Thermal Evaporation）是一種用于沉積薄膜的技術(shù)，主要應(yīng)用于電子,、光學(xué),、裝飾和能源等領(lǐng)域?。其基本原理是在真空條件下,，通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在基板材料表面來獲得薄膜,。熱蒸鍍系統(tǒng)通常由真空室、蒸發(fā)源或蒸發(fā)加熱裝置以及放置基板的裝置組成,。將膜材置于真空鍍膜室內(nèi),，通過蒸發(fā)源加熱使其蒸發(fā)，蒸發(fā)分子在飛向基片表面過程中很少受到其他粒子的碰撞阻礙,，直接凝結(jié)成膜,。?
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