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特長
１．所有的表面狀態(tài)都是即時的,。
２．我們的光學系統(tǒng)對應(yīng)是1級的,。
３．光學系統(tǒng)是免維護的。
４．根據(jù)檢查內(nèi)容,，檢測靈敏度/檢測放大率可以進行變更
５．根據(jù)每個樣品和檢查位置定制**光學系統(tǒng),。

產(chǎn)品詳情：

●設(shè)備概要
1.利用魔鏡原理，觀察那些目視無法確認的晶圓鏡面樣品表面上的micro缺陷,。
2.凹面缺陷則較為明亮,、凸面缺陷則較為暗淡,。通過明暗測定缺陷種類、缺陷位置,、以及缺陷尺寸,。
3.可檢測晶圓表面的Dimples、凹凸,、研削痕,、研磨痕、滑移線,、Edge缺陷,、翹曲、變形等異常,。

●設(shè)備用途
. 切割,，研削，研磨,，拋光,，外延及退火后硅片表面檢測（量產(chǎn)用）
. SiC,，GaN等化合物晶圓表面缺陷檢測
. 藍寶石,，水晶，玻璃晶圓的表面以及內(nèi)部缺陷檢測
. 各工程的晶圓抽樣檢測用（線下用）

●設(shè)備特長
１．所有表面狀態(tài)均是瞬時檢測
２．光學系統(tǒng)對應(yīng)1級光學系統(tǒng)
３．光學系統(tǒng)免維護
４．根據(jù)檢查內(nèi)容,、檢測靈敏度,、檢測放大率可進行變更
５．根據(jù)每個樣品和檢查位置定制**光學系統(tǒng)。

●自動畫像解析功能
可基于檢測前所設(shè)定的缺陷判斷臨界值,，對自動取得的圖像進行畫像解析,，缺陷種類判別，缺陷部位的可視化,，位置坐標算出,、缺陷尺寸表示等工作。