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晶圓半導體表面缺陷檢測設(shè)備--魔鏡系統(tǒng)
晶圓半導體表面缺陷檢測設(shè)備--魔鏡系統(tǒng)

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型號

晶圓表面缺陷檢測

品牌

產(chǎn)地

浙江

樣本

暫無
芯茂(嘉興)半導體科技有限公司

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特長
1.所有的表面狀態(tài)都是即時的,。
2.我們的光學系統(tǒng)對應(yīng)是1級的,。
3.光學系統(tǒng)是免維護的。
4.根據(jù)檢查內(nèi)容,,檢測靈敏度/檢測放大率可以進行變更
5.根據(jù)每個樣品和檢查位置定制**光學系統(tǒng),。


產(chǎn)品詳情:

設(shè)備概要
1.利用魔鏡原理,觀察那些目視無法確認的晶圓鏡面樣品表面上的micro缺陷,。
2.凹面缺陷則較為明亮,、凸面缺陷則較為暗淡,。通過明暗測定缺陷種類、缺陷位置,、以及缺陷尺寸,。
3.可檢測晶圓表面的Dimples、凹凸,、研削痕,、研磨痕、滑移線,、Edge缺陷,、翹曲、變形等異常,。

設(shè)備用途
. 切割,,研削,研磨,,拋光,,外延及退火后硅片表面檢測(量產(chǎn)用)
. SiC,,GaN等化合物晶圓表面缺陷檢測
. 藍寶石,,水晶,玻璃晶圓的表面以及內(nèi)部缺陷檢測
. 各工程的晶圓抽樣檢測用(線下用)

設(shè)備特長
1.所有表面狀態(tài)均是瞬時檢測
2.光學系統(tǒng)對應(yīng)1級光學系統(tǒng)
3.光學系統(tǒng)免維護
4.根據(jù)檢查內(nèi)容,、檢測靈敏度,、檢測放大率可進行變更
5.根據(jù)每個樣品和檢查位置定制**光學系統(tǒng)。

自動畫像解析功能
可基于檢測前所設(shè)定的缺陷判斷臨界值,,對自動取得的圖像進行畫像解析,,缺陷種類判別,缺陷部位的可視化,,位置坐標算出,、缺陷尺寸表示等工作。

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晶圓半導體表面缺陷檢測設(shè)備--魔鏡系統(tǒng)信息由芯茂(嘉興)半導體科技有限公司為您提供,,如您想了解更多關(guān)于晶圓半導體表面缺陷檢測設(shè)備--魔鏡系統(tǒng)報價、型號,、參數(shù)等信息,,歡迎來電或留言咨詢。
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