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SSX600系列光刻機品牌
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上海樣本
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SSX600系列步進掃描投影光刻機采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應(yīng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù),，以及高速高精的自減振六自由度工件臺掩模臺技術(shù),，可滿足IC前道制造90nm、110nm,、280nm關(guān)鍵層和非關(guān)鍵層的光刻工藝需求,，可用于8寸產(chǎn)線或12寸產(chǎn)線。
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